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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機--VTC-100PA（加熱型）

簡要描述：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

  • 產(chǎn)品型號：VTC-100PA（加熱型）
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-09-06
  • 訪  問  量：3748

詳細介紹

 VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 

 技術(shù)參數(shù)

主要特點

  • 真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
  • 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
  • 設(shè)有12組程序，每組包含6個運行階段。
  • 電機啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

參數(shù)

  •  電機功率：50W/24V
  •  速度范圍：500-10000rpm
  •  程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段
  •  增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
  •  時間范圍：0-60s
  •  吸盤：Φ19mm、Φ60mm
進氣口

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部分

    上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數(shù)字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。

             

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸：450mm×280mm×340mm；
  • 重量：20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

　真空吸盤（含O型圈）

2個

2

　中心定位器（含4個定位柱）

1個

3

　滴膠注射器（20ml）

1個

4

　注射器支架

1個

5

　無油真空泵

1臺

6

　橡膠管（含卡箍）

1根

可選配件

　過濾器（真空泵用）

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