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膜厚監(jiān)測(cè)儀--EQ-TM106

簡要描述：EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-09-05
  • 訪  問  量：2363

詳細(xì)介紹


技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)

  • 本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。
  • 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM  
  • 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
  • 通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。
  • 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

 

  • 電源：DC   5V（±10%），zui大電流400mA
  • 頻率分辨率：±0.03Hz
  • 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
  • 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度
  • 測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置
  • 測(cè)量范圍：500000Å（鋁）
  • 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz
  • 計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無）
  • 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出）
  • 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
  • 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

 

EQ-TM106-2顯示儀

 

  • 輸入電源：AC 220V±10%
  • 輸出電源：DC   5V  3A
  • 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED
  • 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗(yàn)：無）
  • 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

 

EQ-TM106-3探頭

 

  • 適用晶片頻率：6MHz
  • 適用晶片尺寸：Φ14mm
  • 安裝法蘭：CF35
  • 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
  • 冷卻水壓：<0.3MPa
  • 氣動(dòng)擋板路管：Φ3mm
  • 壓縮空氣壓力：<0.8MPa，> >0.5MPa
  • 烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃
  • 電氣接口：BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

1個(gè)

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺(tái)

3

EQ-TM106-3探頭

1個(gè)

 

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù) 

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